常见的金属靶材有哪些
我们都了解, 靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。靶材种类比较多,有金属类、合金类、氧化物类等等,用的行业也有所不同,应用很广泛。那么常见的金属靶材有哪些?下面我们一起了解一下吧。我们都了解, 靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。靶材种类比较多,有金属类、合金类、氧化物类等等,用的行业也有所不同,应用很广泛。那么常见的金属靶材有哪些?下面我们一起了解一下吧。
常见金属靶材的种类如下:
常规金属靶材镁Mg、锰Mn、铁Fe、 钴Co、镍Ni、铜Cu、锌Zn、铅Pd、锡Sn、 铝AI
小金属靶材铟In、锗Ge、镓Ga、锑Sb、 铋Bi、 镉Cd
难熔金属靶材钛Ti、锆Zr、 铪Hf、 钒V、铌Nb、钽Ta、铬Cr、钼Mo、钨W、铼Re
贵金属靶材金Au、银Ag、钯Pd、铂Pt、铱Ir、 钌Ru、铑Rh、锇Os
半金属靶材碳C、硼B、 碲Te、硒Se
稀土金属靶材钆Gd、钐Sm、镝Dy、铈Ce、钇Y、镧La、镱Yb、铒Er、 铽Tb、钬Ho、铥Tm、钕Nd、错Pr、镥Lu、铕Eu、钪Sc
陶瓷靶材氧化锌铝AZO、氧化铟锡ITO、氧化锌ZnO、 氮化铝AIN、氮化钛TiN、氮化硼BN、钛酸钡BaTiO3、钛酸铋BiTiO3、 碳化硅SiC、钛酸锶SrTiO3、 碳化钛TiC、碳化钨WC、铌酸锂LiNbO3
合金靶材金锡合金AuSn、金锗镍合金AuGeNi、锌铝合金ZnAl、铝铜合金AICu、钴铁硼合金CoFeB、 铁锰台金FeMn、 铱锰合金IrMn.锆钛合金ZrTi、镍铬合金NiCr、铜铟镓合金CuInGa、铜锌锡硫合金CZTS